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lintec直接汽化法的基本原理及產(chǎn)品特點(diǎn)分析
使用液體質(zhì)量流量計進(jìn)行質(zhì)量測量，并通過(guò)汽化器內置的控制閥將具有流量控制的液體連續引入汽化室。 在汽化室中，液體瞬間汽化。 質(zhì)量控制是液體，但如果瞬間汽化，汽化后的氣體質(zhì)量是一樣的，所以如果是可以瞬間連續汽化的汽化器，液體主的質(zhì)量流量=蒸發(fā)器出口處的氣體質(zhì)量流量。
由于汽化濃度的元素由MFC直接控制，因此具有優(yōu)異的穩定性，可實(shí)現高濃度汽化，難以鼓泡。
熱控制點(diǎn)少
由于流量直接控制，因此具有出色的精度和穩定性
即使在減壓和常壓條件下也可以提供汽化
能夠汽化和供應大流量
一種蒸發(fā)器，用于加熱流量控制的液體和載氣，以降低液化氣的分壓比并提供穩定的汽化供應。
迷你蒸發(fā)器 VU-206
最大 H2O 汽化量：0.5 克/分鐘
最大TEOS汽化：0.7克/分鐘
最高加熱溫度：160°C
高效蒸發(fā)器 VU-430
最大 H2O 汽化量：1.0 克/分鐘
最大TEOS汽化：10克/分鐘
最高加熱溫度：200°C
高效蒸發(fā)器 VU-450
最大 H2O 汽化量：5g/min
最大TEOS汽化：20克/分鐘
最高加熱溫度：200°C
高溫高效汽化器 VU-550
最大 H2O 汽化量：5g/min
最大TEOS汽化：20克/分鐘
最高加熱溫度：300°C
高效蒸發(fā)器 VU-440
最大 H2O 汽化量：5g/min
最大TEOS汽化：30克/分鐘
最高加熱溫度：200°C
高溫高效大流量汽化器 VU-462
最大 H2O 汽化量：15g/min
最大TEOS汽化：50克/分鐘
最高加熱溫度：300°C
輕接觸式蒸發(fā)器 VU-900
最大 H2O 汽化量：7g/min
最高加熱溫度：200°C
石英汽化器 QV-1000
最大 H2O 汽化量：15g/min
最高加熱溫度：200°C
一種無(wú)載體非載體汽化器，可實(shí)現連續汽化，壓力波動(dòng)很小。
低流量非載波蒸發(fā)器 VU-3100
最大TEOS汽化：5克/分鐘
最高加熱溫度：150°C
非載氣蒸發(fā)器 VU-3000
最大 H2O 汽化量：5g/min
最高加熱溫度：200°C
液體汽化供應裝置
溫度控制單元
加熱過(guò)濾器
文丘里效應發(fā)生在具有液體流量控制和載氣噴嘴的雙流體噴嘴上。 通過(guò)將液滴噴射到正下方的汽化室中，我們實(shí)現了穩定和連續的液體供應到汽化室，即使在微小的流速下也會(huì )變成液滴。 通過(guò)接觸來(lái)自汽化室和汽化室側面的輻射熱，可以高效地蒸發(fā)小型化霧。
微訂單微流量控制非常精細。 因此，對于調節流量的控制閥，需要可以精細設置的壓電陶瓷促動(dòng)器，并且需要從控制單元到汽化室的死體積較小的控制閥。
對于CVD和ALD，有許多汽化和供應沸點(diǎn)為200°C或更高的有機金屬化合物以及低蒸氣壓的要求。 林泰開(kāi)發(fā)了一種兼具可維護性和耐熱性的蒸發(fā)器，采用Au密封和隔熱結構。
汽化器的壽命在很大程度上取決于材料的物理性質(zhì)和純度。 因此，根據汽化原料的不同，需要定期維護。 它在設計時(shí)考慮了Lintec的蒸發(fā)器可維護性，以降低維護成本。
本產(chǎn)品在汽化室附近有一個(gè)液體流量控制閥。 根據液體質(zhì)量流量計的流量信號控制緊鄰汽化器的控制閥。 由于引入汽化室的流速受到控制，因此死體積小，汽化響應也得到改善。
通過(guò)在汽化室附近安裝多個(gè)液體流量控制閥，可以同時(shí)或交替地將單獨的液體引入汽化室并蒸發(fā)。
這是一種汽化器，不會(huì )在汽化室附近安裝液體流量控制閥。 它可以與您現有的液體流量控制器或不需要C.F.的科里奧利液體質(zhì)量流量控制器一起使用。
為了最大限度地發(fā)揮輻射熱的效果，我們通過(guò)使汽化室長(cháng)而具有的結構，實(shí)現了大流量汽化。
緊湊型蒸發(fā)器，表面間距為 78 mm。 節省空間的設計，即使與質(zhì)量流量計串聯(lián)使用，表面間距也為 203 mm。
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