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氧氣濃度檢測儀在半導體制造過程中的重要性
檢測部分采用穩(wěn)定氧化鋯陶瓷的便攜式氧氣計。 這是一個集成傳感器、控制單元、流量計、泵和過濾器。
1.與先前型號(TB-FI系列)相比重量減輕
(EZY:4.3kg/先前型號:6.0kg)
2.根據(jù)用途可選擇顏色變化(紅、綠、藍)
3.平滑的溫度控制可實現(xiàn)穩(wěn)定的測量(減少波動)
4.傳感器多層保護,耐腐蝕,使用壽命長(保修2年)
模型 | EZY-1-G | EZY-1-R | EZY-1-B | EZY-2-G | EZY-2-R | EZY-2-B |
顏色 | 綠色的 | 紅色的 | 藍色的 | 綠色的 | 紅色的 | 藍色的 |
類型 | 無采樣泵 | 帶采樣泵 | ||||
原則 | 氧化鋯陶瓷電化學電池 | |||||
作品 | SS盒、TB傳感器、C-301控制單元、帶針閥的流量計等。 | |||||
測量范圍 | 1ppm~100% O2 | |||||
展示 | %: 0~99.99%O2 ppm : 0~ 9999ppmO2 | |||||
輸出 | 4~20mADC(隔離) 0~1VDC、0~5VDC、0~10VDC(隔離,選其一) RS-232C 繼電器接點:3點(A接點),集電極開路輸出:2點(以下可任意分配) 濃度報警:Hi/Lo、HHi/Hi 或 Lo/LLo(LCD 顯示) 傳感器異常(故障)報警:加熱器、RTD斷線(LCD顯示) 預熱完成信號 范圍回復 | |||||
接點輸入 | 遠程校準變送輸出(電壓/電流) 保持遠程量程切換 | |||||
量程切換 | 自動/手動/遠程 | |||||
初始設置 | 0~25.00%O2 / 0~ 9999ppmO2 | |||||
樣本吸取 | 樣品壓配合 | 內置泵抽吸 | ||||
樣品壓力 | 高達 2 個大氣壓 | |||||
漂移線性重復性 響應速度 管道連接 樣品流速 樣品溫度 預熱時間 電源 配件 | ±2%FS 以內/周 ±1%FS 或 ±1ppm 以內,以較大者為準 在 ±1%FS 或 ±1ppm 以內,以較大者為準 10秒內90%響應(如果向高濃度側擺動) RC1/4 0.2~2L/分鐘 最高60℃ 約20分鐘 免費電源(85-260VAC) 電源線3m |