日本昭和ssvi超薄型主動(dòng)隔振裝置VAAV-H

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產(chǎn)品時(shí)間：2020-08-07

簡(jiǎn)要描述：日本昭和ssvi超薄型主動(dòng)隔振裝置VAAV-H
配備了專(zhuān)門(mén)用于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準確掌握微小的振動(dòng)。
原始的主動(dòng)振動(dòng)隔離算法可高速計算，高精度高輸出執行器可立即消除振動(dòng)。

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日本昭和ssvi超薄型主動(dòng)隔振裝置VAAV-H

配備了專(zhuān)門(mén)用于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準確掌握微小的振動(dòng)。

原始的主動(dòng)振動(dòng)隔離算法可高速計算，高精度高輸出執行器可立即消除振動(dòng)。

超靈敏的加速度傳感器慷慨地安裝在地板一側，前饋控制實(shí)現了世界上gao水平的隔振性能。

在保持高性能和高精度隔振性能而沒(méi)有共振現象的同時(shí)，安裝臺的激振力所產(chǎn)生的振動(dòng)也會(huì )同時(shí)衰減。

• 它具有與VAAV-A系列相同的性能，但可以使設備的整體高度較低。
• 氣動(dòng)控制可實(shí)現全fang位高精度的位移和位置控制。
• 可以選擇能夠應對較大移動(dòng)負載的高速響應大流量閥。
• 安全可靠的設計與CE標記兼容。（控制器SAC-07）
• 標配臺前饋功能和振動(dòng)波形顯示分析軟件。

• 在半導體制造和檢查設備中，它被用作需要精細處理的晶片的振動(dòng)對策以及用于移動(dòng)晶片的臺架的振動(dòng)對策。
• 在液晶制造和檢查設備中，其目的是在機架和工作臺明顯移動(dòng)時(shí)快速衰減振動(dòng)，并用于立即檢查和校正，這有助于縮短節拍時(shí)間。
• 在超精密機床中，它用于消除工作臺上的振動(dòng)，該工作臺用于精密加工，同時(shí)支持大載荷的運動(dòng)。

日本昭和ssvi超薄型主動(dòng)隔振裝置VAAV-H

• *防震臺的標準配置為4個(gè)/單位。
• *表中的大值可以在沒(méi)有均勻負載和沒(méi)有動(dòng)態(tài)負載的情況下應用。

控制器 SAC-07	300（W）x 300（D）x 118（H）毫米
電源供應	AC100V-240V 100VA（單相）
電源線(xiàn)	3m
調節器 RGU-07	250（W）x 100（D）x 200（H）毫米
單元連接電纜	5m